ナノインデンテーション（ナノ硬さ試験）｜検査・計測 › 計測 › 材料・表面分析

ナノインデンテーション（ナノ硬さ試験）とは、先端の鋭い圧子を非常に小さな荷重で試料へ押し込み、荷重と押し込み深さの関係から微小領域の硬度とヤング率を求める¹試験である。通常の押し込み試験を薄い膜に使うと下地まで押してしまい、膜の値に下地の性質が混ざる。超低荷重で浅く押すことで、薄膜そのものの機械的性質を測れる。

分類上の位置

工程の分類›検査・計測›計測›材料・表面分析› ナノインデンテーション（ナノ硬さ試験）

材料・表面分析の下にある工程で、同じ分類にはほかに7工程がある。

関連ページ

• 用語集ナノインデンテーション（ナノ硬さ試験）の詳しい解説

同じ分類の工程

断面観察（断面解析）、EDX（エネルギー分散型X線分光法）、EPMA（電子プローブマイクロ分析）、ラマン分光、SIMS（二次イオン質量分析）、XRD（X線回折）、XPS（X線光電子分光）

出典

1件を表示

1. 1
   SEAJ 半導体用語集（ウェーハプロセス）seaj.or.jp ↩