XPS（X線光電子分光）検査・計測 › 計測 › 材料・表面分析
XPS（X線光電子分光）とは、試料表面にX線を当て、放出される光電子の運動エネルギーを測って、表面の元素組成と化学結合状態を求める分析法である。ESCAとも呼ばれる。表面から数nmの範囲の元素を調べられるうえ、化学シフトから同じ元素がどの相手と結合しているかまで区別できる点が、元素の有無を答える手法との違いである。
分類上の位置
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材料・表面分析の下にある工程で、同じ分類にはほかに7工程がある。
- XPS（X線光電子分光装置）
同じ分類の工程
Section titled “同じ分類の工程”断面観察（断面解析）、EDX（エネルギー分散型X線分光法）、EPMA（電子プローブマイクロ分析）、ナノインデンテーション（ナノ硬さ試験）、ラマン分光、SIMS（二次イオン質量分析）、XRD（X線回折）