EDX（エネルギー分散型X線分光法）｜検査・計測 › 計測 › 材料・表面分析

EDX（エネルギー分散型X線分光法）とは、電子線で励起した微小な場所が放つ特性X線を、エネルギー別に計数して、そこにある元素を特定する分析法である。EDSとも書く。断面像の明暗からは材料の違いは分かっても元素名までは分からないため、層や異物の材料を特定し、手を入れるべき工程を絞るのに使う。電子顕微鏡の中で像の観察と同時に行え、X線を波長で分けてエネルギー分解能を高めた波長分散型（WDX、EPMAで主に使う）と対比される。