干渉露光｜前工程 › リソグラフィ › 露光

干渉露光は、複数の光束を重ね合わせて生じる明暗の縞をレジストに当て、周期的なパターンを転写する露光である。マスクの像を投影せずに広い面へ周期構造を作れ、回折格子の製作やレジストの解像性評価に使われる。一方、任意の形の回路図形を描く用途には向かず、周期と向き、面内の均一性で条件を決める点が投影露光と異なる。