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ウェーハマウント(ダイシングテープ貼付)|後工程 › ダイシング

ウェーハマウントは、ウェーハの裏面をダイシングテープに貼り、リング状のフレームと一体にして保持する工程である。薄化したウェーハの割れを防ぎ、ダイシングで切り分けた後もチップが散らばらないように支える。SDBGの流れではバックグラインドの後に行い、研削用の表面保護テープを剥がしてから、エキスパンドとピックアップへ渡す。

工程の分類›後工程›ダイシング› ウェーハマウント(ダイシングテープ貼付)

ダイシングの下にある工程で、同じ分類にはほかに5工程がある。

この工程は、SDBG(ステルスダイシング・ビフォア・グラインディング)の「SDBG(DAF付きの場合を含む)」の手順の一部として出てくる。

  • ウェーハマウンタ

ブレードダイシング、レーザーダイシング、プラズマダイシング、DBG(ダイシング・ビフォア・グラインディング)、レーザーグルービング(レーザー溝加工)