コバルト配線形成｜前工程 › 配線形成

コバルト配線形成は、コバルト（Co）を局所配線やコンタクトの導体に使う配線形成で、局所配線では銅、コンタクトでは主にタングステンに代わる材料である。Coは塊での抵抗率は銅より高いが、電子の平均自由行程が短く、必要なライナーも薄い。そのため、ごく細い線では壁での散乱やライナーに取られる断面の影響が小さく、実効の抵抗で銅を下回る。この利点が出るのは最下層付近の細い配線とコンタクトである。