レジストフリーズ（レジストパターン固定）｜前工程 › リソグラフィ › 塗布・現像 › レジスト塗布・ベーク

レジストフリーズ（レジストパターン固定）は、1回目の露光と現像で作ったレジストパターンを硬化させ、その上に2回目のレジストを塗っても溶けないようにする工程である。硬化の方法には、熱処理で材料自体が硬化するレジスト¹を使うものなどがある。2回の露光で細かいパターンを作るLFLE（リソ・フリーズ・リソ・エッチ）で使われ、間にエッチングを挟まずにリソグラフィを重ねられるため、露光ごとにエッチングする方式より工程を減らせる。

分類上の位置

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レジスト塗布・ベークの下にある工程で、同じ分類にはほかに5工程がある。

工程の流れ

この工程は、LFLE（リソ・フリーズ・リソ・エッチ）の「LFLE（2回の露光と1回の転写）」の手順の一部として出てくる。

関連ページ

• 用語集レジストフリーズ（レジストパターン固定）の詳しい解説

同じ分類の工程

脱水ベーク、ポストベーク（ハードベーク）、PEB（露光後ベーク）、レジストリフロー、PAB（塗布後ベーク）

出典

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   JSR ニュース 2010-02-22（non-topcoat self-freezing ArF photoresist）jsr.co.jp ↩