ベベル成膜｜前工程 › 成膜

ベベル成膜は、ウェーハ外周の面取り部（ベベル）とその付近に限って膜を付ける処理である。外周部は成膜やエッチングを繰り返すうちに膜がはがれたり下地が露出したりしやすく、そこから出た粒子が欠陥の原因になる。外周に保護膜を付けて後のエッチングなどから守り、はがれと汚染を抑える。外周の不要な膜を取り除くベベル洗浄・エッチングとは、逆向きの処理にあたる。