IAP（インクジェット適応平坦化）｜前工程 › 成膜

IAP（インクジェット適応平坦化）は、ウェーハ表面の凹凸に合わせて量を変えた液滴をインクジェットで置き、平らな板を押し当てて広げたうえで光で硬化させ、平坦な膜を作る手法である。凹みには多く、凸部には少なく液を置くことで、表面の高低差を埋める。一様に塗るスピンコートでは下地の段差が膜表面に残りやすく、CMPでは研磨の進み方がパターン密度に左右されるため、その代わりや補助として使われる。